교수소개

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  서강면

  • 직위교수(반도체공정장비학과장)
  • 주요과목마이크로프로세서실습,융합프로젝트실습2
  • 연구실미래관 2층
  • 연락처031-650-7282
  • E-mailkmseoo@kopo.ac.kr
  • 학력공학박사(전자제어공학)
  • 주요경력- 충북보건과학대학 선임연구원(중계선 정합장치 개발)
    -(주)GMG시스템 개발실(로봇 및 정밀제어기기 개발)
    - 한국교통대학교, 청주대학교 겸임교수
    - 정밀제어기기 하드웨어 설계 및 펌웨어 개발 경력 25년
  • 주요실적- "2차원 도립진자를 위한 GA 및 Heuristic한 제어규칙 기반 PID제어기의 실험적 연구"
    제어자동회시스템공학회등 국내학술지 13편
    - "파라미터 불확실성을 갖는 비선형다변수 시스템의 강인제어"
    - 원격감시용 계측모듈 및 데이터처리장치등 20건 개발
  • 연구분야정밀제어시스템 하드웨어 설계 및 제어 알고리즘 개발
    로봇시스템 설계
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  신승헌

  • 직위교수
  • 주요과목반도체소재 ,반도체요소기술실습심화
  • 연구실미래관 2층
  • 연락처031-650-7280
  • E-mailshshin@kopo.ac.kr
  • 학력공학박사(반도체)
  • 주요경력- 연세대학교 신소재공학과 박사후 연구원 및 연구교수
    - University of Texas at Austin 박사후연구원
    - 삼성전자 생산기술연구소 책임 연구원
  • 주요실적- "MSM Varactor Diodes Based on In0.7Ga0.3As HEMTs with Cut-Off Frequency of
    908 GHz,” IEEE Electron Device Letters 외 국제학술지 20편
    - “Buried Pt Schottky Contacts on Thin InP/InAlAs for HEMT Application,”
    Electronic Materials Conference 외 국내/외 학회 발표 14편
    - Regrown S/D gate-last InGaAs QW MOSFET 개발, 연세대학교
    - Logic 7nm fin module 공정 개발, 삼성전자
    - DRAM cap module etch 공정 개발, 삼성전자
    - EUV용 Mask etcher 공정 개발, 삼성전자
  • 연구분야III-V 화합물 반도체 소자 공정 개발 및 분석
    High speed & high power 반도체 소자 및 공정 개발
    차세대 반도체 공정 개발
• 
  우종창

  • 직위교수
  • 주요과목플라즈마공학기초,반도체측정,반도체공정실습2
  • 연구실미래관 2층
  • 연락처031-650-7281
  • E-mailwjch97@kopo.ac.kr
  • 학력공학박사(반도체공학)
  • 주요경력- 한국전자통신연구원 융합공정기술팀 연구원
    - 한국전자통신연구원 나노융합센서연구실 선임연구원
    - ㈜ 에이콘코리아 MEMS 센서기술연구소 연구소장
  • 주요실적- "Electrical Properties and Thermal Annealing Effects of Polycrystalline MoS2-MoSX Nanowalls Grown by Sputtering Deposition Method", Crystals, 외 국제학술지 61편
    - "표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물질용 패키지 기술에 전기적 제어방식 연구", 한국전기전자재료학회 논문지 외 국내학술지 40편
    - "A study on the etch properties of cobalt oxides thin films using high density plasma", The 5Th International Conference on Advanced Electromaterials 외 120 편 국내/외 학회발표
    - “MICRO MACHINING METHOD ENABLING IMPROVEMENT OF Z-AXIS MOVEMENT PERFORMANCE AND MINIMIZING OF DEPTH DEVIATION OF STRUCTURE, AND ACCELERATION SENSOR USING SAME”, 출원번호: PCT-KR2016-001263, 2016. 02.04 외 PCT 1건
    - “방음 및 전자기파 차폐 기능을 갖는 열전발전 소자 및 제조 방법”외 국내/외 특허 25건
    - "반도체공정기술" 저서 외 2권
    - NCS 학습모듈 반도체 재료, 디스플레이 생산 및 재료, 플렉시블디스플레이 검사 및 생산 등 집필 (2015~2021)
  • 연구분야표면 가공형 MEMS 압력센서 개발
    나노파이버를 이용한 자동차용 열전발전 방음재 핵심기술 개발
    바이탈 케어 서비스를 위한 WPTS 개발
  • 기타 과학기술정보통신부 국가연구시설장비심의평가단 평가위원